产品别名 |
超精密端面减薄磨床 |
面向地区 |
品牌 |
汉锐科特 |
|
产地 |
广东 |
材质 |
其它 |
适用机床 |
磨床 |
加工方式 |
来样加工 |
是否库存 |
是 |
是否批发 |
是 |
产品功能特点：
1、高速减薄——磨削难磨材料达 0. 25mm/min。 2、一机两用——粗精磨一次性完成。 3、在线检测——加工厚度偏差小于 0.002mm。 4、在线修整——砂轮钝化后自动修整，并不需要停机更换零部件。 5、自动化控制——产品清洗、机械手上下料等均可自动完成。 6、难磨材料的克星——主要针对超硬脆性材料硅片、陶瓷、钻石、钨钢类产品，一次磨削就能达到良好的粗糙度和精度。 效率品质居其它设备。
机床结构特点：
1、天然花岗石床身立柱结构，变形！ 整体切割后采用手工研磨方式加工，导轨安装面与转台安装基准垂直度全行程小 于 0.004mm，两导轨面平行度小于 0.002mm。台面整体平面度小于 0.002mm。
2、高刚性 Z 轴进给单元 丝杆采用 THKC2 级高精密产品，丝杆直径 50mm，丝杆轴承为 4 联高刚性配置。 导轨为 55 型 SP 高精级高预紧滚珠导轨，刚度和直线进给精度得到有效保障。 采用高动态无间隙谐波齿轮减速机连接，减速比高达 1：100，从而只需要很小 的电机驱动，就可以满足高负载驱动要求。并能够实现微量稳定进给，确保 每次进给偏差小于 0.001mm。
3、一轴两用的专利技术——超精密高速磨削主轴单元 这项技术的诞生，使原本需要两台设备加工的工艺变成了一台，幅度的降低 了设备投入成本，缩短了制程周期，产品的稳定性有了更高的。通常来讲， 一套主轴的一端只能安装一个或一种用于磨削的砂轮，而本专利技术实现了在同 一套主轴上可以同时安装两种不同的砂轮。当个砂轮工作完毕，进给系统退 回到一定高度，另一个砂轮通过气源驱动自行伸出，对产品进行第二序加工，完 成后自动退回。两个砂轮如此交替工作，就能完成两台设备所做的工作，真正 实现一机两用。除此以外，本主轴采用超精密气悬浮轴承结构，回转精度小于 0.0003mm。由于主轴在高速运行时完全悬浮在高压气体中，结合气体的高压缩 比，具备非常好的吸振功能，对超硬脆性材料的物理特性，具备好的防碎功能。 特别是对于厚度直径比小于 1：3000（如 12 英吋的晶圆片厚度小于 0.1mm 时） 的材料，效果显著！这是其它轴承主轴所不能代替的。用 300mm 直径的砂轮， 在 4000r/min 的高速运转时，除了风声，几乎感觉不到主轴的振动和其它噪音。
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