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(1)扩散泵真空机组
以扩散泵为主泵的真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的真空。
(2)分子泵真空机组
以分子泵为主泵的真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。在机组内增加液氮冷阱，可以抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:
可获得清洁真空、源;
当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止，不会污染系统;
无油、无声、无振动，改善了工作环境;
极限真空度高，抽速大，抽气时间短。
真空泵配套的耐腐离心泵和水喷射泵我们都有生产，欢迎来电咨询!
一、特点：
PP卧式水喷射真空机组，体积小，结构紧可移动，噪音低，能耗低，便于综合利用。水汽串联喷射真空机组，耗气量小可获得更高的真空度，工作稳定，使用方便。
二、安装使用及注意事项：
1、在安装使用前，仔细检查各部位紧固件是否松动，若有松动校正拧紧。
2、开机前水池加满水，打开泵进口阀，严禁脱水空转及反转，以防止损坏机封和泵。
3、停机前先放空或真空度降至0.092Mpa以下，然后停机以防真空度过高，倒吸易损坏止回阀，(如止回阀失灵，请打开止回阀盖，清除杂物)。
4、汽水串联喷射泵，先打开然后再开蒸汽，停机时先关蒸汽，然后停机以防损坏水喷射泵。在安装蒸汽管路时，保障管路内不能积水，要保持水平，否则将影响真空度。
5、水池循环水温过高，会影响排气量和真空度，需要及时更换或补充水。
罗茨真空机组的特点：
1、罗茨泵不需要排气阀，可抽除可凝性的脂肪酸蒸汽，是因为泵腔内不发生像机械真空泵那样的压缩现象。
2、罗茨真空机组中非别有罗茨泵转子、泵腔、转子构成。他们之间都有间隙，互不接触、互不干涉所以也不用润滑油来运转；
3、罗茨泵能迅速排出被蒸馏的气体，是因为在很宽的压力范围内（1～1 000 Pa）有很大的抽速。
4、罗茨泵转子之所以能够制造出结构紧凑的大抽速泵来是因为具有良好的几何对称性，可以提高转速。
5、机组工作时面积大，振动小；
6、功率小，运转维护费用低，启动快，能够在短时间内达到限真空。
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