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安全操作规程
一、操作人员熟悉该型号的真空泵的结构性能、工作原理及操作规程。
二、每次开泵之前做如下检查：
1、 电器开关、接地线是否完好可靠；
2、 真空表是否灵敏可靠，连接捕集器、中和桶吸收液位是否正常、有效；
3、 各部位的润滑油是否充足，地脚螺栓、皮带罩是否牢固；
4、 冷却水的进出水阀门是否开启，水量是否适宜；
5、 真空管路的阀门开或闭是否正确；
6、 人工盘车2—3转，检查转动部件是否正常。
(1)扩散泵真空机组
以扩散泵为主泵的真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的真空。
(2)分子泵真空机组
以分子泵为主泵的真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。在机组内增加液氮冷阱，可以抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:
可获得清洁真空、源;
当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止，不会污染系统;
无油、无声、无振动，改善了工作环境;
极限真空度高，抽速大，抽气时间短。
以聚丙烯（PP）为材料制造：
一、设备特点：
PP系列真空机组，采用防腐PP水箱，缓冲罐，RPP水冲泵，止回阀，水喷射泵组成各系列机组，结构紧凑，能耗低，真空高，可移动。
二、使用注意事项：
1、设备应安装在平整坚实基础上，设备的务重强度。
2、开机前水箱灌满水，打开水泵进水阀门。水泵严禁脱水空转及反转，以防损坏水源。
3、汽水串联机组应先启动水源，水喷射真空开始工作，
4、使用时循环水箱应经常补充冷却水更换循环水，降低工作水温，严防循环水中有颗粒杂物。
5、设备停机时应先关闭阀门，停止真空泵，打开真空罐上放空阀门，降低真空度。然后停止工作。否则产生倒吸及损坏设备。
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