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三、真空泵运转过程中，操作人员应经常查看电流读数是否正常，倾听声音是否正常，如发现异常应立即进行检查、检修。
四、 真空泵每年至少进行一次全面检修，真空表每半年应校验一次。润滑油应保持适量，停泵后再关闭冷却水。
(1)扩散泵真空机组
以扩散泵为主泵的真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11Pa的真空。
(2)分子泵真空机组
以分子泵为主泵的真空机组其极限真空度为10-8Pa，特点是启动快，油的污染小。在机组内增加液氮冷阱，可以抽速。机械泵出口处设有水冷阱，可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等，可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较，它有如下优点:
可获得清洁真空、源;
当无油真空泵启动后，即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止，不会污染系统;
无油、无声、无振动，改善了工作环境;
极限真空度高，抽速大，抽气时间短。
1、应安装在明亮少尘的通风性能好的建筑物内，环境温度为5-40℃。
2、周围应留有充足的空地，便于日常检查维修保养。
3、出厂时一般已安装在机架上，用户须浇制混凝土基础，并在混凝土中埋进固定机组螺栓（一般用膨胀螺栓）基础平面要求水平。
4、将就位固定后，、管道通径不得小于泵进口通径，管道内无任何焊渣、杂质等异物，主泵进气口上方与系统中应安装阀门，使真空机组与系统隔开，系统允许的总漏率应≤10PaL/S。
5、当抽除气体中含有颗粒物时在主泵上方的管道中加装过滤装置。
6、当抽除气体中带有较强腐蚀性时（PH≤5）,在主泵上方的管道中加装中和装置。
7、的水环泵口的管道应尽量短，管道通径等于出口通径，要求弯头少（一般不超过3个）排水管连接高度不得0.5米。
8、接好用进水管，管路上应有阀门以便控制泵的进水量，进水管通径采用1/2水管为宜，水压为0.1MPa-0.2MPa为宜，水源以清洁的自来水或井水为宜。
9、的电气控制柜应安装在适当位置，便于操作，如果用户自配电气控制柜，则要根据的工作程序进行设计安装，各泵的转向符合规格要求。（出厂时个泵均有转向箭头，不得反转）电气设备具有互锁及自动保护装置，要求工作可靠安全。
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