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平面磨床的磨头部分在支撑上采用的是前后两个轴瓦的支撑模式，静压技术应用于其中，在轴瓦的前端开有深度为0.8mm，宽度4mm的两个回油槽。轴瓦的加工及装配精度会对M7140型静压磨头的使用质量产生较为严重的影响。轴瓦与主轴在直径方向上的间隙为0.07mm，可依照此数据进行故障查找及精度修复。主轴拆卸后发现造成轴振动的主要原因是轴瓦内孔圆度超差，致使静压平衡被破坏，造成主轴在回转时产生较大的振动。修复轴瓦内孔，恢复轴瓦内孔的圆度也可以用研磨的方法。
H402-AZ数控平面磨床采用龙门式卧轴矩台的结构布局方式，配备运动功能部件、高分辨率测量与反馈系统以及数控系统与伺服驱动系统，具有结构刚度高、力热稳定性好和加工精度高的特点。另外，机床配备了在位测量系统，可完成大尺寸光学玻璃平面度快速、精密、可靠检测。超精密大尺寸光学玻璃平面磨床结构。
工作台面采用整体花岗岩结构，在传统闭式静压导轨的基础上开发了高刚性、的大平面闭式静压导轨，以实现工作台的大行程、平稳、可靠的往复运动。工作台采用SIEMENS直线电机进行驱动，同时为了防止直线电机的运动影响台面，为直线电机设计了立的静压导轨。台面的运动状态由HEIDENHAIN光栅系统进行闭环控制，从而了工作台具有、快速响应的运动特性。
