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研磨按照先粗后精的步骤进行，精研时用外径尺寸比轴瓦内径小0.015-0.025mm的研磨棒进行干研。干研时要控制研磨的次数，待研磨后轴瓦内孔表面光洁度可达 0.8以上时回装试车。静压主轴部件在机床中大量应用，使机床的设计和制造水平上了一个新台阶，也给机床的维修带来了新难题。静压主轴的修理过程比较复杂精细，修理工期长，容易影响生产。所以，平时的维护保养工作是至关重要的。
立轴圆台平面磨床:竖直安置的砂轮主轴以砂轮端面磨削工件,砂轮架可沿立柱的导轨作间歇的垂直进给运动。工件装在旋转的圆工作台上可连续磨削，生产效率较高。为了便于装卸工件，圆工作台还能沿床身导轨纵向移动。卧轴圆台平面磨床:适用于磨削圆形薄片工件,并可利用工作台倾斜磨出厚薄不等的环形工件。立轴矩台平面磨床：由于砂轮直径大于工作台宽度,磨削面积较大,适用于磨削。
由于光学玻璃具有硬度高、脆性大的特点，在加工过程中极易产生表面疵病与亚表面损伤，属于典型的难加工材料。其超光滑表面成形技术及低成本加工工艺技术已经成为科技、航空航天、电子信息等领域急需研究的重要课题。对于光学玻璃等硬脆材料，超精密磨削技术是实现超光滑表面的佳手段。
