一种真空微型探针台应用与半导体测试气敏
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更新时间：2020-07-16 10:31:02 信息编号：301nca84mab6e1

价格：
面议
类型：
科研实验室
品牌：
郑科探
关键词：
真空探针台,半导体测试气敏,低温探针台,半导体制冷探针台

邱迎迎

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详情介绍

产品别名	半导体制冷探针台,真空探针台,半导体测试,低温探针台	面向地区	全国	类型	科研实验室
品牌	郑科探	加工定制	是	适用物料	多种可用
干燥介质	空气	工作原理	脉冲	湿物料运动方式	搅动式

一种真空微型探针台应用与半导体测试气敏

精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面为φ30，台面高可升温到高400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。

该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用级别真空电极信号接头，气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

温控器

加热温度

高温型 35-400℃ 低温型室温- -50℃

注意：热台温度和样品温度存在偏差客户可用PT100热电阻贴在和样品接近的样品台面测量热电阻值对应分度值做校准。

温控误差

±1℃

热电偶类型

PT100传感器

温控表

宇电PID温控器

程序控温

1段（可选30段程序控温表）

加热功率

≤300W

加热电源

AC220v

尺寸

230x230x125MM

重量

6kg

真空探针热台

腔体材质

304不锈钢

加工方式

一体式CNC精加工

内腔体尺寸

137X57X21mm 容积165ML

加热台尺寸

Φ35mm

观察窗内径

Φ45mm

观察窗材质

高透光石英玻璃

信号输出头

SMA母头配线 SMA转BNC 1.5米

电学性能

绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V

抽气口

KF16

进气口

6MM卡套

使用正压

≤O.05MPa

使用负压

机械泵可获得真空≤10Pa 分子泵可获得真空≤10 -3 Pa

可扩展配件

气体液体注射口

4芯电信号接头

8芯电信号接头

SMA905 光纤接口

扩展5KV高压电极

升级30段控温仪表

移动探针

探针规格

探针粗Φ0.5mm 探针尖 10μm

上下移动距离

2.5mm

前后移动距离

±10mm

左右旋转距离

120°

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